講演情報
[9p-N103-5]レーザー生成プラズマEUV光源の高効率化
〇東口 武史1 (1.宇都宮大工)
キーワード：
極端紫外、レーザー生成プラズマ
EUV露光機の高NA化とともにEUV光源には高出力化と高効率化が求められている．現行の露光用EUV光源にはCO2レーザー（気体レーザー）では消費電力が大きいため，励起レーザーを2 µm帯の中赤外固体レーザーに置き換える動きがある．われわれは，レーザー照射方法を工夫することで高効率化を図った．本発表では，マルチビーム照射法によるエネルギー変換効率の高効率化と斜め入射法によるスペクトル純度（スペクトル効率）の高効率化について報告する．