講演情報
[9p-N103-6]レーザー生成B-EUV〜水の窓軟X線光源
〇東口 武史1 (1.宇都宮大工)
キーワード：
極端紫外、水の窓、レーザー生成プラズマ
現在，13.5 nmリソグラフィーの高NA化の進捗次第であるが，B-EUV研究も進められている．これに並行し，短波長EUV光源として，“Blue-X” と銘打って水の窓軟X線領域の光源も検討されはじめた．われわれは，これまで，レーザー生成プラズマB-EUV光源や水の窓軟X線源の高効率化などを進めてきた．本発表では，スペクトル帯域を合わせるためのレーザー生成プラズマB-EUV光源のスペクトルの狭帯域化と4 nm近傍の水の窓軟X線源の2時間連続実験について報告する．