[9p-N105-1~21] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

17:15 〜 17:30奨励賞エントリー

[9p-N105-15] サファイア基板上rs-MgO薄膜の高温成長

〇木村 航介¹、川端 重温¹、嶋 紘平²、松尾 浩一³、内田 浩二³、大野 篤史³、高橋 勲⁴、荒木 努¹、秩父 重英²、金子 健太郎^4,5 (1.立命館大理工、2.東北大多元研、3.岩崎電気(株）、4.立命館大総研、5.立命館大半導体応用研)

キーワード：

酸化マグネシウム、ミストCVD法、高温成長