[9p-N105-1~21] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

18:00 〜 18:15奨励賞エントリー

[9p-N105-18] キャリア寿命測定を用いたβ酸化ガリウムのキャリア捕獲準位の評価

〇石原 拓真¹、島添 和樹¹、佐々木 公平²、加藤 正史¹ (1.名工大、2.㈱ノベルクリスタルテクノロジー)

キーワード：

酸化ガリウム、時間分解フォトルミネッセンス

高耐圧なパワーデバイスに向けた材料として注目を集めているβ酸化ガリウムにおいてキャリア寿命測定を実施し、キャリア捕獲準位の評価を行った。