講演情報
[9p-N201-10]高品質HSQマスク法BiFe0.9Co0.1O3ナノドットのドメイン構造評価
〇(M2)中山 創1、吉川 浩太1、Lee Koomok1、角嶋 邦之2、星井 拓也2、金子 智3、安井 学3、黒内 正仁3、北條 元4、重松 圭1,3、東 正樹1,3 (1.東京科学大総合研究院、2.東京科学大工学院、3.神奈川産技総研、4.九大総理工)
キーワード：
マルチフェロイクス、微細加工
室温で強誘電・弱強磁性を併せ持つCo置換BiFeO3（BFCO）は、低消費電力不揮発性メモリへの応用が期待されている。我々は、電子線描画法で加工したHSQマスクを用いて、１辺100-250nmのBFCOナノドットを作製した。PFM・MFMによる詳細なドメイン構造解析の結果、電場印加によるナノドットの分極・磁気ドメイン変化が明瞭に観察された。また、プロセス改良によりナノドットの高品質化を実現した。