[9p-N201-1~14] 6.1 強誘電体薄膜

14:30 〜 14:45

[9p-N201-5] ナノ電極C–V測定による強誘電特性評価

〇平永 良臣¹、長 康雄² (1.東北大通研、2.東北大未来科学)

キーワード：

強誘電体、プローブ顕微鏡、C-V測定

本講演では，局所C-Vマッピング法と呼ぶ走査型プローブ顕微鏡手法によって得られたデータセットから抽出された特徴パラメータが分極反転特性を評価する上で有用な指標となっているか否かについて議論する．