[9p-N202-1~17] 3.13 シリコンフォトニクス・光電融合集積・光制御

13:45 〜 14:00

[9p-N202-2] 薄膜シリコンコアを用いた電気光学ポリマー光変調器

〇佐藤 洸¹、横山 士吉¹ (1.九大先導研)

キーワード：

光変調器、電気光学ポリマー

n型ドープSOI基板を用いた薄膜シリコン–電気光学ポリマーハイブリッド変調器を試作した。シリコン導波路を下部電極として活用する構造により電極間距離を2 μmに短縮し、半波長電圧4.2 V、V_πL 0.84 Vcmを達成した。