2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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13:45 〜 14:00
[9p-N202-2]
薄膜シリコンコアを用いた電気光学ポリマー光変調器
〇佐藤 洸
1
、横山 士吉
1
(1.九大先導研)
キーワード:
光変調器、電気光学ポリマー
n型ドープSOI基板を用いた薄膜シリコン–電気光学ポリマーハイブリッド変調器を試作した。シリコン導波路を下部電極として活用する構造により電極間距離を2 μmに短縮し、半波長電圧4.2 V、V
π
L 0.84 Vcmを達成した。
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