講演情報
[9p-N206-10]ミストCVD法により作製したVO2薄膜の冷却速度による結晶相制御
〇高山 大輝1、藤沢 浩訓1、中嶋 誠二1、大坂 藍1 (1.兵庫県大工)
キーワード：
バナジウム酸化物、ミストCVD
二酸化バナジウム(VO2)は，金属絶縁体相転移(MIT)によって電気的・光学的性質が劇的に変化する魅力的な材料である ．その物性は薄膜の微細構造に大きく影響され，熱酸化プロセ スにおける冷却速度は薄膜の微細構造を制御できることが報告されている ．本研究では，ミストCVD法における成膜後の冷却速度によるVO2薄膜の結晶相と微細構造の制御を検討した．