2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
過去のプログラム
English
ご利用ガイド
メインメニュー
開催情報
お知らせ(0)
大会HP
プログラム
セッション一覧
講演検索
タイムテーブル
2025年9月7日 (日)
2025年9月8日 (月)
2025年9月9日 (火)
2025年9月10日 (水)
詳細検索
トップ
セッション一覧
セッション詳細
講演情報
講演情報
17:30 〜 17:45
[9p-N206-15]
次世代微細配線に向けたPdCoO
2
のスパッタ成長
〇原田 尚之
1
、長井 拓郎
1
、政広 泰
2
、蒲 保典
2
(1.NIMS、2.田中貴金属工業)
キーワード：
微細配線、低抵抗材料、薄膜
セッション詳細へ戻る
