講演情報
[9p-N301-12]石英フリーハライド気相成長法によるGaN結晶に対する光学特性評価
〇門内 勇樹1、藤倉 序章2、今野 泰一郎2、金木 奨太2、佐野 昂志1、市川 修平1,3、田畑 博史1、小島 一信1 (1.阪大院工、2.住友化学株式会社、3.阪大電顕センター)
キーワード：
半導体、窒化ガリウム、ハライド気相成長法
窒化ガリウムはその優れた物性値から次世代パワー半導体材料として期待されているが、結晶成長の際に不純物が混入するといった課題がある。今回測定した試料は石英フリーハライド気相成長法により作製されており、炭素、シリコン、酸素などの主要な不純物の低減に成功している。本研究ではこれら試料に対し、低温でのフォトルミネッセンス測定を行い、発光機構に関する調査を行ったのでその結果を報告する。