講演情報
[9p-N301-2]極性反転AlN結晶のTilt-scan DPC-STEMによる電場可視化解析
〇冨谷 茂隆1、赤瀬 善太郎1、岩満 一功1、安原 聡2、玉野 智大3、赤池 良太3、三宅 秀人3 (1.奈良先端大、2.日本電子、3.三重大)
キーワード：
微分位相コントラスト法、極性反転窒化アルミニウム結晶
DPC-STEM法は電場分布の可視化を可能とする手法であるが、結晶性試料においては回折コントラストの影響が解析の妨げとなる。本研究ではTilt-scan DPC法を適用することで、AlNにおける極性反転界面付近の電場分布が高いコントラストで明瞭に得られた。