講演情報

[9p-N301-3]誘導ラマン散乱を用いたGaN結晶中転位の高速3Dイメージング

〇高橋 俊1、若本 裕介1、車 一宏2、前田 拓也1、小関 泰之1,2 (1.東大院工、2.東大先端研)

キーワード:

窒化ガリウム、転位、誘導ラマン散乱

高速イメージングが可能な誘導ラマン散乱(SRS)顕微法をGaN結晶中の貫通転位観察に応用し、転位がもたらす歪みの非破壊・3次元イメージングに成功したので報告する。また、多光子励起フォトルミネッセンス(MPPL)信号も同時に取得し、SRSとMPPLから得られる情報を掛け合わせることで、転位の特性や相互作用の詳細な分析を可能にした。