[9p-N301-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

14:45 〜 15:00

[9p-N301-5] 非極性面スパッタアニールAlN上に成長したAlGaNの転位構造の評価

〇安永 弘樹^1,2、赤池 良太^2,3、大矢 健世³、森 新之助³、中村 孝夫^2,3、三宅 秀人^2,3 (1.三重大 研基機構、2.三重大 半導体デジタル未来創造センター、3.三重大 院工)

キーワード：

AlN、スパッタリング、透過型電子顕微鏡