2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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13:45 〜 14:00
[9p-N307-2]
表面活性化接合法で作製されたn-GaN/n-GaN接合の断面上での 二重バイアス変調静電引力顕微鏡観測
〇水谷 航平
1
、文 思翰
1
、小林 大地
1
、福澤 亮太
1
、梁 剣波
3
、重川 直輝
3
、高橋 琢二
1,2
(1.東大生研、2.東大ナノ量子機構、3.大阪公大工)
キーワード:
静電引力顕微鏡、ケルビンプローブフォース顕微鏡、窒化ガリウム
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