講演情報
[9p-N307-5]3次元走査型力顕微鏡によるイオン液体/ SrTiO₃界面構造のバイアス依存性の調査
〇張 皓輝1、炭竈 享司1、宮田 一輝1、清水 直2、岩佐 義宏3、福間 剛士1 (1.金沢大、2.富山県立大、3.理研CEMS)
キーワード：
電気二重層トランジスタ、3次元走査型力顕微鏡
本研究では、電気二重層トランジスタ（EDLT）のIL/SrTiO₃界面構造を3次元走査型力顕微鏡（3D-SFM）で観察した。独自に設計した小型EDLTデバイスを用い、ゲート電圧によるチャネルの界面構造の変化を可視化した。正バイアス下ではSrTiO₃上に多層構造を形成し、負バイアス下では構造が不鮮明化した。これらの結果はEDLT動作機構と整合し、今後は分子動力学シミュレーションによる詳細解析を進める。