[9p-N321-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

18:00 〜 18:15

[9p-N321-17] スパッタ法によるNbAlN薄膜のエピタキシャル成長

〇菊池 立貢¹、黒木 颯太²、河村 貴宏³、池田 和久^1,2、小林 篤^1,2 (1.理科大院先進工、2.理科大先進工、3.三重大院工)

キーワード：

NbAlN、AlN、サファイア