2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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14:45 〜 15:00奨励賞エントリー

[9p-N321-6]GaNスパッタ薄膜のモザイク性の改善

〇(M1)金武 凜樹1、齋藤 明紀1、山田 直臣1 (1.中部大工)

キーワード：

GaN、スパッタリング、モザイク性

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