[9p-N322-1~20] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

18:30 〜 18:45

[9p-N322-19] 電子励起を伴うイオンのエネルギー損失に対してFirsovが付加した因子の影響

〇望月 和浩¹、西村 智朗¹、三島 友義¹、堀切 文正¹ (1.法政大)

キーワード：

チャネリング、イオン注入、電子阻止断面積