[9p-N323-1~11] 13.9 化合物太陽電池

15:45 〜 16:00

[9p-N323-9] 硫黄プラズマを用いた反応性スパッタリングによるウルツ鉱型ZnO_1-xS_x薄膜の作製

〇(D)茂田井 大輝¹、鈴木 一誓¹、野上 大一¹、反保 衆志²、永井 武彦²、寺田 教男²、青野 裕美³、小俣 孝久¹ (1.東北大、2.産総研、3.鹿児島大)

キーワード：

反応性スパッタリング、硫黄プラズマ、固溶体