[9p-N324-1~19] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

16:00 〜 16:15

[9p-N324-10] スパッタリングによるMoS_X負極膜の構造制御とLiイオン電池への応用

〇坂口 浩貴¹、長谷川 祥之¹、上田 竜雄¹、寺田 圭吾¹、藤掛 大貴¹、村瀬 瑠汰¹、山崎 稜介¹、内田 儀一郎^1,2 (1.名城大学理工、2.名城大エネセンター)

キーワード：

スパッタリング、リチウムイオン電池