[9p-N324-1~19] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

16:45 〜 17:00奨励賞エントリー

[9p-N324-13] 大気圧VHFプラズマを用いた透明基材用反射防止コーティングの形成プロセスの研究

〇水澤 直人¹、Leapheng Uon¹、小野 結己¹、大参 宏昌¹、垣内 弘章¹ (1.阪大院工)

キーワード：

プラズマ