[9p-N324-1~19] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

15:00 〜 15:15

[9p-N324-7] マルチ短パルスHiPIMSのDLC成膜応用と発光分光測定

〇石川 開大¹、尾関 健太¹、木村 高志¹ (1.名工大院工)

キーワード：

マルチ短パルスHiPIMS、DLC成膜、発光分光測定