[9p-N324-1~19] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

15:15 〜 15:30

[9p-N324-8] HiPIMSに低電力パルススパッタを重畳した手法による酸化バナジウム膜作成と発光分光測定

〇衣川 純平¹、安藤 俊輔¹、是永 武瑠¹、木村 高志¹ (1.名工大院工)

キーワード：

酸化バナジウム、HiPIMS、発行分光測定