2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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15:15 〜 15:30

[9p-N324-8]HiPIMSに低電力パルススパッタを重畳した手法による酸化バナジウム膜作成と発光分光測定

〇衣川 純平1、安藤 俊輔1、是永 武瑠1、木村 高志1 (1.名工大院工)

キーワード：

酸化バナジウム、HiPIMS、発行分光測定

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