講演情報
[9p-N324-9]HiPIMS 放電における選択的イオン加速技術を用いた 重元素イオン衝撃に伴う運動量変換の定量評価
〇(M1)渡部 里菜1、西村 風香1、陳 爾東1、清水 徹英1 (1.都立大SD)
キーワード：
HiPIMS、基板パルスバイアス同期技術、運動量変換
HiPIMS法を用いた重元素W イオン衝撃による運動量変換の遷移金属酸化物薄膜の低温結晶成長への有効性の検証を研究目的とした．薄膜の結晶性と堆積粒子当たりの総運動量変換量(Ptot/a)の関係を定量評価するため，W薄膜成長による検証実験を行い，基板バイアス電圧Us=−300 Vの条件下でPtot/a = 500 amu·eV-1/2を達成するには，ピーク電流密度4 A/cm2が要求されることを明らかにした．