講演情報
[9p-N401-1]大気圧プラズマエッチングによるガラス表面ナノ構造制御と超撥水化
〇(D)峰雪 序也1,2、安田 興平2、林 泰夫2、東 清一郎1 (1.広大院先進理工、2.ＡＧＣ（株）)
キーワード：
大気圧プラズマ、微細加工、超撥水
自動運転のセンサーやカメラのカバーガラスにおける雨や汚れ対策として超撥水ガラスが求められている。従来の湿式エッチングや真空プラズマ法は環境負荷や基板サイズの制約が課題である。本研究では、大気圧CF₄プラズマエッチング中の表面状態をモニタリングし反応を制御することで、簡便かつ効率的に超撥水性を実現する新手法を提案する。