[9p-N401-1~15] CS.9 6.5 表面物理・真空、7.5 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

14:30 〜 14:45奨励賞エントリー

[9p-N401-5] 極薄a-Si/Ni/SOI積層構造の急速熱処理によるSiO₂上単結晶NiSi₂の形成

〇今井 友貴¹、谷田 駿¹、山本 裕司^2,1、田岡 紀之³、牧原 克典^1,2 (1.名大院工、2.IHP、3.愛工大工)

キーワード：

シリサイド、単結晶、SOI