[9p-N403-1~16] 7.2 電子ビーム応用

17:15 〜 17:30

[9p-N403-15] NEA-InGaNフォトカソード電子銃を用いた帯電抑制SEM撮像

〇安田 光伸¹、西谷 智博^2,3、小泉 淳²、荒川 裕太²、新美 浩太郎²、佐藤 大樹^2,3、石川 純久¹、大塚 祐二¹ (1.東レリサーチセンター、2.Photo electron soul、3.名古屋大学)

キーワード：

フォトカソード、電子銃、InGaN