[9p-N403-1~16] 7.2 電子ビーム応用

13:45 〜 14:00

[9p-N403-2] TiNコート層の成膜条件がフィールドエミッタアレイの電子放出特性に与える影響

〇村田 博雅¹、大住 知暉^1,2、後藤 康仁²、村上 勝久¹、長尾 昌善¹ (1.産総研、2.京大院工)

キーワード：

フィールドエミッタアレイ、TiN