講演情報
[9p-N403-3]TiNコーティングを施したボルケーノ構造フィールドエミッタアレイの再加熱後の動作tip数の改善
〇川崎 祐輔1、村田 英一1、村田 博雅2、長尾 昌善2 (1.名城大理工、2.産総研)
キーワード：
フィールドエミッタアレイ、マルチエミッタ評価装置、TiNコーティング
前回の応用物理学会では、反応性スパッタによりSiエミッタにTiNコーティングを施したボルケーノ構造フィールドエミッタアレイ（以下FEA）を用いてエージング（long time DC drive）処理および加熱処理前後での各tipのエミッション電流値の変化について報告した。FEAを動作すると徐々に全体エミッション電流が減少するが再加熱により初期動作に近い水準まで回復することが分かっている。今回は、再加熱後の動作tip数の改善について観察を行ったので報告する。