講演情報
[9p-N403-5]ショットキーモードでのLaB6エミッタの電子放出測定
〇伊藤 昂陽1、村田 英一1、田中 崇之1、六田 英治1 (1.名城大理工)
キーワード：
LaB6、ショットキー電子放出、仕事関数
次世代の電子線リソグラフィー装置の性能向上には、高性能電子源が必要不可欠である。これの実現には、高輝度・大電流・高安定性・長寿命の条件を満たす電子銃を開発することが必要である。長寿命化には動作温度の低下が必要だが輝度は低下する。これまで我々は、低い加熱温度での熱電子放出の評価を行ってきた。今回は、低下した輝度を補償するために、ショットキーモードでLaB6エミッタの評価を行ったので報告する。