講演情報
[9p-N403-9]電界放出電子源の光源径測定の精度低下要因の検証
〇川本 絵里奈1、松永 宗一郎1,2 (1.日立製作所、2.日立ハイテク)
キーワード：
光源、電子顕微鏡、電子源
本発表では、走査型電子顕微鏡(SEM)に搭載された電界放出電子源の仮想光源(虚像)を試料上に拡大投影する手法を利用した高精度な光源径の測定方法を提案する。この手法で光源径は、拡大投影したビーム径を拡大率で割ることで得られる。報告者らはこれまでに、その測定精度の検証方法を提案し、精度が低下する主な原因である拡大率の精度を評価した。今回、その他の測定精度が低下する原因である非点と振動の影響を評価した。