[9p-P07-1~8] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[9p-P07-1] Si(001)上Ge薄膜のc-Al₂O₃基板への転写プロセス検討

〇田中 真裕¹、山本 裕司²、柴山 茂久¹、坂下 満男¹、黒澤 昌志¹、中塚 理^1,3、Wen Wei-Chen² (1.名大院工、2.IHP-Leibniz Institute for High Performance Microelectronics、3.名大未来研)

キーワード：

半導体