講演情報
[9p-P08-17]水素の２次元元素組成分布可視化を目的としたμ-ERDAシステムの開発
〇後藤 健暉1、丸田 京華1、三輪 美沙子1、遠山 翔1、加田 渉1、松山 成男1 (1.東北大量子)
キーワード：
弾性反跳粒子検出法、水素分析、焦点深度
水素の3次元元素組成分布可視化を目的としたマイクロ ERDA システムの開発を行った。ERDA は水素分析に有効だが、傾斜配置による空間分解能の劣化が課題である。本研究では焦点深度の最適化によりこの課題を解決し、模擬試料を用いた実験で均一な水素分布像の取得に成功した。本発表では開発したマイクロERDAシステムの概要、および複数の模擬試料を用いた分析結果について報告する。