講演情報
[9p-P09-12]深振動マグネトロンスパッタリングの成膜領域における
飛行時間質量分析法を用いたエネルギー分解時間発展計測
〇(M2)小林 宏輝1、中川 悠幹1、横山 英佐1,2、西宮 信夫1、實方 真臣1、戸名 正英3、山本 宏晃3、塚本 恵三3、冨宅 喜代一4、大下 慶次郎5、美齊津 文典6 (1.東京工芸大工、2.サレジオ高専、3.(株)アヤボ、4.神戸大、5.北海道教育大、6.東北大院理)
キーワード：
飛行時間質量分析法、マグネトロンスパッタリング、エネルギー分析
飛行時間質量分析計を用いて阻止電位によるイオンの運動エネルギーフィルタリングを通して行われるエネルギー分解時間発展計測を深振動マグネトロンスパッタリングで試みた。Arイオンの時間発展において阻止電位に応じたピークの分裂や喪失が観測された。これは、イオンの運動エネルギーに起因するものと考えられる。発表では、イオン種ごとに各ピーク時間における時間分解エネルギー測定の結果について報告する予定である。