[9p-P09-1~17] 8.1 プラズマ生成・診断

[9p-P09-15] 誘導結合型BF₃プラズマ内におけるB原子の空間分布計測

〇佐藤 颯斗¹、武村 海¹、竹田 圭吾¹ (1.名城大理工)

キーワード：

発光分光

プラズマドーピングに用いられるプラズマ内での粒子の反応過程の更なる解明に向けた足掛かりとして発光分光測定とシミュレーションの双方を用いて、誘導結合型BF₃プラズマにおけるボロン（B）原子の空間的な分布の分析の結果を報告する。