講演情報
[9p-P09-5]アンバランスドRFマグネトロンプラズマ生成のための磁石配置と磁界分布の検討
〇(M1)三原 智也1、大津 康徳1 (1.佐賀大理工)
キーワード：
プラズマ生成、アンバランスマグネトロン、電子温度制御
プラズマプロセスの最適化には電子温度の制御が重要であり、本研究ではアンバランスマグネトロン構造で高密度プラズマを生成し、グリッドバイアス法による電子温度制御を目指している。今回はその前段階として、円形ターゲット上の中央磁石と外周磁石の配置による磁界分布をシミュレーションで評価した。個別配置とリング磁石配置の比較により、磁界特性の違いを確認し、今後の最適設計に向けた基礎的検討を行った。