講演情報
[9p-P09-7]ハイブリッドホロー電極と磁石を用いた高密度RF 水素プラズマ生成に及ぼすガス圧力の影響
〇田爪 健悟1、大津 康徳1 (1.佐大院理工)
キーワード：
RFプラズマ、機能性薄膜、水素プラズマ
本研究は、高密度水素プラズマ生成のための高周波磁気増強型中空陰極放電システムの開発を目的としている。具体的には、プラズマ密度の最適化における磁気閉じ込め形状の役割を明らかにするために、中空陰極の周囲に配置した外側の磁石の直径を変化させた場合のプラズマ特性に及ぼす水素ガス圧力の影響を調査・解明する。