講演情報

[9p-S101-4]道なき道を切り拓く、挑戦の中に潜む楽しさ ~最前線の成膜技術開発~

〇照井 祐輔1 (1.株式会社 KOKUSAI ELECTRIC)

キーワード:

成膜、バッチ成膜装置、トリートメント