2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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13:55 〜 14:05
[9p-S101-4]
道なき道を切り拓く、挑戦の中に潜む楽しさ ~最前線の成膜技術開発~
〇照井 祐輔
1
(1.株式会社 KOKUSAI ELECTRIC)
キーワード:
成膜、バッチ成膜装置、トリートメント
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