2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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一般セッション(口頭講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.8 プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演

[9a-N324-5~5]8.8 プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演

2025年9月9日(火) 10:15 〜 10:45
N324 (共通講義棟北)
10:15 〜 10:45

[9a-N324-5][第23回プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演] プロセスプラズマのためのイオン-分子間反応衝突モデル

〇伝宝 一樹1、加藤 大輝1、松隈 正明1 (1.東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ)
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