[14a-K101-1~10] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

10:15 〜 10:30

[14a-K101-4] [第16回シリコンテクノロジー分科会研究奨励賞受賞記念講演] フォノニックナノ構造を用いた高出力平面型シリコン熱電発電素子

〇柳澤 亮人¹、野村 政宏¹ (1.東大生研)

キーワード：

熱電変換、シリコン、フォノン