[14a-K401-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:00 〜 9:15奨励賞エントリー

[14a-K401-1] n⁺-GaNの電気化学エッチングによるエッチング形態変化の調査

〇横井 創吾¹、宇佐美 茂佳¹、今西 正幸¹、隅 智亮²、滝野 淳一²、岡山 芳央²、伊藤 瞭太³、秦 雅彦⁴、田中 敦之⁵、本田 善央⁵、天野 浩⁵、丸山 美帆子¹、吉村 政志⁶、森 勇介¹ (1.阪大工,阪大院工、2.パナソニックホールディングス(株)、3.住友化学(株)、4.伊藤忠プラスチックス(株)、5.名大未来研、6.阪大レーザー研)

キーワード：

オキサイド気相成長、電気化学エッチング、窒化ガリウム