2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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講演情報

16:00 〜 16:30

[14p-K101-6]高精度慣性センサの小型モジュール開発とアプリケーションへの展開

〇宮﨑 史登1 (1.東芝 研究開発センター)

キーワード：

MEMS、慣性センサー

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