講演情報
[14p-K207-7]電気力顕微鏡を用いた単層カーボンナノチューブの金属型/半導体型純度の定量評価方法の開発
〇桑原 有紀1、Khoris Indra1、Nasrin Fahmida1、弓削 亮太2、斎藤 毅1 (1.産総研、2.NEC)
キーワード：
単層カーボンナノチューブ、電気力顕微鏡、純度
カーボンナノチューブ（CNT）は、構造の違いにより半導体的にも金属的にもなり得るため、CNTサンプル中におけるそれらの混在割合の定量的評価法は、CNT応用開発を行う上で極めて重要である。本研究では、CNTが半導体型と金属型で異なる誘電特性を有することに着目し、電気力顕微鏡（EFM）を用いたイメージングの解析による半導体型純度の定量評価方法の開発を検討した。