講演情報
[14p-K403-6]狭ギャップマイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド膜の形成
〇(M1)樋口 瑠洸1、酒井 佑真1、垣内 弘章1、大参 宏昌1 (1.大阪大工)
キーワード：
ダイヤモンド
ダイヤモンドの合成と知られるＣＶＤ法では、従来数 kWの大電力を用いる例が大多数であり、エネルギー効率が低く、低コスト化のネックになっている。この解決に向け、本研究では、対向電極間の狭ギャップに生成される局在プラズマを利用した合成法を提案する。講演では、投入電力等の成膜条件と得られるダイヤモンド形態の相関について報告する。