講演情報
[14p-K504-10]フレキシブルシリコン有効媒質の伸縮変形によるテラヘルツ屈折率制御
〇山根 秀勝1、山田 義春1、近藤 裕佑1、宮島 健1、冨士田 誠之2、村上 修一1 (1.大阪技術研、2.阪大院基礎工)
キーワード：
テラヘルツ、フレキシブル、MEMS
本研究では、MEMS微細加工技術によりメッシュ状に貫通溝を加工することで、単結晶シリコン基板に柔軟性を持たせ、その機械的変形による光学特性制御を目指した。厚さ200 µmのシリコン基板に周期的な渦巻状の微細貫通溝パターン（線幅約10 µm、周期約200 µm）を加工することで、柔軟性、特に伸縮性を持たせたフレキシブルシリコン有効媒質を実証することに成功した。これはシリコンと空気の有効媒質として機能し、シリコン基板の伸長によって、有効媒質の組成比が変化することで屈折率を可逆的に制御できることを理論的、実験的に示した。