[14p-P02-1~20] 6.4 薄膜新材料

[14p-P02-15] 赤外レーザー蒸着法を用いた高品質SrH₂薄膜の合成

〇(B)河原 幸生¹、中野 匡規¹、原田 尚之²、大口 裕之¹ (1.芝浦工大工、2.物材研)

キーワード：

金属水素化物薄膜、水素化ストロンチウム

SrH₂は高ヒドリド伝導率が報告されているBaH₂と同じアルカリ土類金属水素化物であり、BaH₂よりも低密度のために、高エネルギー密度電気化学デバイスに適している。しかし、その伝導率はBaH₂より低い。そこで我々は、高濃度Naドープおよび高ヒドリド伝導相の安定実現のために、SrH₂エピタキシャル薄膜合成を目指している。本研究では、エピタキシャル成長を目指して、複数基板上にSrH₂薄膜成長を行った。