[14p-P02-1~20] 6.4 薄膜新材料

[14p-P02-19] 複合酸化物ガスバリア膜の緻密性と均一性の評価

〇山王堂 尚輝¹、森藤 亨¹、佐藤 誠¹ (1.東レ株式会社)

キーワード：

ガスバリア、X線光電子分光、陽電子消滅寿命測定法

当社は、高速成膜が可能な真空蒸着法で２種の酸化物材料を同時に蒸着することで緻密なバリア膜を形成した水蒸気透過率（WVTR）が10^-3 g/m²/day台以下の超ハイバリアフィルムの開発を行っている。一方真空蒸着法はスパッタに比べ薄膜の緻密性や均一性に不利と言われていた。本発表では、成膜法や材料組成の異なる複合酸化物膜の酸化状態の均一性を評価し、薄膜の緻密性やバリア性との関係を調査した結果について報告する。