2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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[14p-P02-20]大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いたルチル型酸化チタンの低温成膜

〇太田 貴之1、西村 美優紀1 (1.名城大理工)

キーワード：

大電力パルススパッタリング、ルチル型酸化チタン

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