講演情報

[14p-P05-2]ナノテンプレート選択成長法によるSi(100)ナノインプリント基板全面への規則配列窒化物ナノコラム成長

〇織間 裕悟1、星野 航太1、富樫 理恵1,2、岸野 克巳1,2 (1.上智大理工、2.上智大ナノテク)

キーワード:

InGaN