2025年第72回応用物理学会春季学術講演会
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[14p-P08-16]
スパッタリング法による全無機ペロブスカイト薄膜の作製および評価
〇宮前 竜
1
、來福 至
1
、上岡 義弘
2
、召田 雅実
2
、石河 泰明
1
(1.青山学院大、2.東ソー)
キーワード:
ペロブスカイト太陽電池、スズペロブスカイト、スパッタリング
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